年产3000吨级电子新材料硅烷项目

本产品硅烷（silane，化学式为SiH4，纯度≥99.9999%）是拥有自主知识产权、采用三氯氢硅歧化法生产的产品，打破了国外长期垄断，产品质量优于《电子工业用气体 硅烷》(GB/T15909-2017)规定的技术指标，实现了同类产品国产化替代，产品远销东南亚。电子级硅烷是半导体工业、电子信息产业、新能源产业最基础的原材料，广泛应用于光伏产业多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物、外延硅片、光电子产业，液晶平面显示器(TFT)、 电子复印机光感鼓膜、微电子产业，集成电路、玻璃镀膜等，可用于制造完美的外延薄膜，以及高质量、高水平的半导体分立器件，还可以用于制作非晶硅太阳能电池的原板。此外，硅烷还应用于制造先进陶瓷、复合陶瓷、功能材料、高能材料等，成为许多新技术、新材料、新器件的基础材料，成为军事、卫星、交通（如磁悬浮列车晶闸管）等所用材料。    

【产品图片】

图1 硅烷产品储罐（20T/个）

图2 硅烷产品（包装物Y瓶，470L/个）

图3 硅烷产品（管束式集装箱）

【与国外同类技术产品对比情况】

技术对比情况：相当

价格对比情况：低于

国外技术产品厂家及名称：法国液空集团、美国REC公司等

硅烷（SiH4）纯度（体积分数）/10-2  ≥99.99996

氢（H2）含量（体积分数）/10-6  ＜ 16

氦（He）含量（体积分数）/10-6  ＜ 1.0

氧+氩（O2+Ar）含量（体积分数）/10-6  ＜ 0.04

氮（N2）含量（体积分数）/10-6  ＜ 0.40